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            SPS旋涂儀

            描述:SPS旋涂儀堅固的自彈式蓋鉸鏈,可自動將蓋保持在好狀態,以便輕松搬運和卸下基板;同時確保蓋子上的任何殘留化學物質都流入系統排水口

            更新時間:2021-06-02
            產品型號:
            廠商性質:經銷商
            詳情介紹

            1、SPS旋涂儀結構
            * NPP-H(具有α晶的天然聚丙烯)的耐腐蝕結構)為整個系統提供更好的剛性和韌性
            *高品質無縫制造表面,全工程塑料
            *適用于通風柜和雜物箱
            *大處理室直徑:202毫米

               *尺寸(臺式版):27.5 x 45.0 x 25.0厘米(寬x深x高)

            2、數字電機控制:
            *具有數字增量速度信號的數字實時閉環控制伺服電機反饋
            *提供高精度的轉速(±0.1 rpm)和寬范圍的轉速(1至12,000 rpm),這是傳統PID電機控制器無法實現的

                *允許具有廣泛旋轉速度參數的用戶以更安靜的方式進行工作/實驗,系統高速運行時更穩定,振動更少

            3、透明蓋:
            淬火的透明玻璃瓶蓋,帶有注射器支架和N2擴散器,可在處理過程中進行N2吹掃
            *注射器支架可幫助用戶始終在期望的相同位置和位置分配抗蝕劑/化學物質
            *控制室環境對于恒定的過程結果至關重要
            *堅固的自彈式蓋鉸鏈,可自動將蓋保持在好狀態,以便輕松搬運和卸下基板;同時確保蓋子上的任何殘留化學物質都流入系統排水口
            *透明蓋清晰可見內部

               *可手動分配

            4、SPIN150i旋涂儀安全聯鎖:
            *Process Chambe Lid始終為所有用戶安全鎖定,并且僅在單擊蓋子打開顯示圖標時才能打開
            *電磁蓋聯鎖在打開時停止旋轉,而真空聯鎖(可編程)在沒有足夠真空或沒有真空的情況下停止旋轉
            *防止傷害使用者并避免基材破裂

                *具有CE標志和過載保護的電氣安全

            5、連接:
            *三個可編程繼電器輸出,可用于操作自動分配系統,外部閥或其他附件。
            *多種夾頭可供選擇,用于直徑大為160 mm的不同尺寸的基板
            *制氮過程中的氮氣擴散器
            6、可拆卸控制器:可拆卸的全尺寸觸摸屏,手套防護,IP 52,耐化學腐蝕
            7、彩色觸摸屏顯示:可輕松編程速度,加速度和時間
            8、無限程序存儲:可用于多個步驟的配方,每個配方均適用于:
            *時間:0.1至99999秒/步
            *速度:0至12,000 rpm
            *旋轉方向:順時針,逆時針,攪動
            *加速/減速:1至30,000 rpm / sec(每步可選)
            *真空開/關
            *3個可編程的干觸點:例如用于分配單元,氮氣擴散器等的自動控制
            9、USB端口:可輕松上傳和下載配方以及更新軟件版本
            10、存儲:結構化和受密碼保護的方案存儲,可輕松安全地進行管理

            SPS旋涂儀技術參數

            大樣品尺寸: 160mm
            大腔體直徑: 202mm
            伺服控制馬達
            程序數字處理控制器:
            存儲50個程序,每個程序可設計99步菜單指令
            轉速 1-12000 rpm
            天然聚丙烯材質,對強腐蝕的化學試劑可選用聚四氟乙烯材質的勻膠機
            配有防污染內襯,標配兩個大小吸盤
            儀器尺寸: 275 (w) x 240 (d) x 450 (h) mm

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