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            YES–PB Series

            描述:YES–PB Series更快的流程:3.5小時vs 8個小時以上,層流減少/消除了顆粒,大大降低了資本成本,降低了2-3倍的運營成本

            更新時間:2021-06-02
            產品型號:
            廠商性質:經銷商
            詳情介紹

            真空固化的優勢
            •更快的流程:3.5小時vs 8個小時以上
            •層流減少/消除了顆粒
            •更徹底的固化(排氣量減少5倍)
            •減少膜應力,降低晶片翹曲
            •功耗和N2消耗減少1.6到2倍
            •大大降低了資本成本,降低了2-3倍的運營成本

            PB8: 多2個200mm晶圓盒
            PB12: 多2個300mm晶圓盒

            技術參數

            硬件
            潔凈室相容性:10級
            箱體清潔度:1級
            晶圓尺寸:大200mm
            容量:每批多可容納50個8英寸晶圓(兩個25個晶圓盒)
            工作溫度:環境溫度450°C
            氮氣流量:1 SCFM
            耗氮量:15-25升/分鐘。
            內腔尺寸:36.62厘米(內徑)x 66.52厘米(深)—(14.42“ x 26.19”)
            腔室處理面積:23.95厘米(寬)x45.97厘米(深)x24.69厘米(高)—(9.43“ x
            18.10”x 9.72“)
            系統整體尺寸:68.96厘米(寬)x145.92厘米(深)x 77.87厘米(高)—(27.15“
            x 57.45”x 30.64“)
            控制臺尺寸:59.44厘米(寬)x 96.01厘米(深)x 23.62厘米(高)—(23.4“ x
            37.8”x 9.3“)
            箱體材質:316L不銹鋼
            工藝氣體輸入:1個標準,多3個可選
            質量流量控制器:可選–多3個用于氣體混合
            層流過濾器:100微米Mott™板式過濾器
            清潔度:減少大多數應用中的顆粒
            軟件
            配方數:8種溫度曲線
            每個配方的步數:16個程序步
            分段時間范圍:0-99小時
            定時器設定分辨率:1分鐘
            性能
            溫度均勻性:所有溫度點穩定15分鐘后,在保壓期間保持±5°C
            平均升溫速度(150°C-450°C):5°C / min。 空箱負荷
            平均冷卻速度(450°C-150°C):4°C / min。 空箱負荷
            氧氣濃度:本底超過10 ppm
            配件
            電源要求:208V,40 A,50/60 Hz,3相
            重量(約):575磅(261公斤)

            留言框

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