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            等離子剝離脫膠系統

            描述:YES–EcoClean等離子剝離脫膠系統是YES的一種小巧,高通量的下游等離子剝離/除渣解決方案,具有高蝕刻速率,并且對表面的損傷很小/可以忽略不計。小化擁有成本,氣體使用量和寶貴的工廠空間。

            更新時間:2021-06-02
            產品型號:YES–EcoClean
            廠商性質:經銷商
            詳情介紹

            EcoClean系統為當今和下一代技術創建了先進的解決方案,為工程師提供了晶片的靈活性和可靠性:

            等離子剝離脫膠系統去除光刻膠
            •目的
            •聚酰亞胺去除
            •有機物去除
            •氧化銅去除

            Yield Engineering Systems(YES)等離子剝離/脫膠系統已將EcoClean設計為高產量,擁有成本低的單晶圓光刻膠去除系統。 ICP遠程源產生原子氧,該氧與晶片表面的光刻膠發生化學反應。 通過采用下游抗蝕劑剝離工藝,可以實現高去除率,而不會造成基板和器件的電損壞或缺陷。 EcoClean提供了自動化的處理方法,氣體消耗低,是一種環保的“綠色”解決方案。

            等離子剝離脫膠系統技術參數

            硬件
            潔凈室兼容性:10級
            工作溫度:高145°C
            氮氣流量:1.7 SCFM
            工藝氣體流量:平均20-50 SCCM
            內部腔室尺寸:45.72 CM(W)X 45.72 CM(D)X 30.48 CM(H)—(18” x 18” x 12”)
            腔室處理區:共12個托盤; 13個托盤插槽,用于靈活配置— 15英寸x 15英寸架子尺寸的托盤,用于不同的處理模式(活動,接地和浮動)—標準
            配置:4個活動,4個接地,4個浮動
            系統整體尺寸:59.69厘米(寬)x 71.12厘米(深)x 113.284厘米(高)—(23.5“ x 28” x 44.6“)
            箱體材質:6061-T6鋁
            工藝氣體輸入:3個標準,第4個可選
            質量流量控制器:可選,多3個用于氣體混合
            符合SEMI™:S2 / S8
            軟件
            配方數:12個,具有加載/保存/循環/鏈接功能
            曝光時間范圍:0-1200秒(20分鐘)
            定時器設置分辨率:1秒
            G1000規格
            用于引線鍵合表面處理和溫和清潔應用
            性能
            射頻等離子功率:550 VAC時為0-1000瓦,可選功率
            射頻漏磁:0.6 mA / m,4.15 x 10-7 A2 / m2平均
            射頻泄漏電氣:平均1.6 V / m,4.2 V2 / m2
            耗氮量:閑置0 SCF,峰值6.8 SCF,平均1.7 SCF
            功耗(帶泵):閑置375W,峰值1000W,平均640W
            反應氣消耗量:閑置0 SCF,20-50 SCCM
            散熱:平均920瓦
            配件
            電源要求:208-230V,20安培,50/60 Hz,1相
            系統重量:158.76公斤(350磅)

            留言框

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