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            SPS光刻機

            描述:SPS光刻機非常適合微電子,2D材料,微流體,光電,opty或任何其他2D微加工應用的技術

            更新時間:2021-06-02
            產品型號:POLOS &#181;
            廠商性質:經銷商
            詳情介紹

            SPS光刻機主要特點:

            1、寫入分辨率低至2 μm
            2、可調整的寫作領域和具有可互換目標的解決方案
            3、與CAD文件或位圖圖像兼容
            4、與g線光刻膠兼容
            5、兼容多種基材(硅,玻璃,金屬,塑料等)
            6、兼容任何樣品尺寸達4英寸的晶片
            7、相機反饋以進行對準步驟
            8、由于沒有硬掩模,節省了時間和金錢
            9、將設計直接覆蓋在樣品上的直觀對齊方法
            10、占地面積小的桌面
            11、非常適合微電子,2D材料,微流體,光電,opty或任何其他2D微加工應用的技術

            SPS光刻機技術參數

            1、光源曝光:435 nm; 對準:525 nm
            2、小特征尺寸:2至23 μm可調
            3、對準分辨率:低至1 μm / cm2
            4、大曝光面積:75 x75 mm2
            5、基板尺寸:大4”晶圓
            6、系統尺寸:W:(36厘米); D:(36厘米); 高:(60厘米)
            7、多合一PC:Win 10、24英寸全高清
            8、SFTprint軟件:機器控制,步進重復,自動劑量測試,縫合,對齊
            9、SFTconverter:將標準格式(gdsii,dxf,cif,oas)轉換為位圖圖像。 隨附的CAD軟件

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