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            • 納米壓印

              納米壓印保護ACP技術可大限度保護模板和基板,特別對 于象磷化銦(InP)等極易碎模板和基板給予大限度。

              更新時間:2021-06-02

              廠商性質:經銷商

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            • 全晶圓片

              全晶圓片均可對其校正補償從而獲得的壓印均 勻性, ACP消除了基板與模版之間側向偏移,有效地延長了模版使用 壽命。通過微小熱容設計可獲得快速的熱壓印周期,終得到快速的工 藝循環。

              更新時間:2021-06-02

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