全晶圓片

NX-2600全晶圓片整片基板帶對準可多層次納米壓印加高分辨率光刻系統經過了 大量的實時實地驗證，質量可靠，性能優越穩定。具備全部壓印模式： 熱固化、紫外固化和壓印?；讵毺乇Ｗo的Nanonex氣墊軟壓技術 （ACP），不論模版或基板背面粗糙程度如何，或是模版或基板表面波 浪和弧形結構，NX-2600均可對其校正補償從而獲得的壓印均 勻性， ACP消除了基板與模版之間側向偏移，有效地延長了模版使用 壽命。通過微小熱容設計可獲得快速的熱壓印周期，終得到快速的工 藝循環。

所有形式的納米壓印
? 熱塑化
? 紫外固化
? 熱壓與紫外壓印同時進行
? 熱固化
氣墊軟壓技術(ACP)
? Nanonex技術
? 完美的整片基板納米壓印 均勻性
? 高通量
全晶圓片低于10nm分辨率
亞1微米正面對準精度
背面對準可選項
快速工藝循環時間（小于60秒）靈活性
? 4″, 6″, or 8″壓印面積可選 ? 各種尺寸及不規則形狀模
板與基板均可壓印
方便用戶操作
基于超過12年、15代產品開發 經驗的自動化壓印操作
Nanonex壓印系統經過大量實 時實地驗證，質量可靠，性 能優越穩定
全自動納米壓印

技術參數

熱塑壓印模塊
? ● 溫度范圍0～250oC
? ●加熱速度>300oC/分鐘
? ●制冷速度>150oC/分鐘
? ●壓力范圍0 ～ 3.8 MPa（550 psi）
紫外固化模塊
? ● 200W窄帶紫外光源
? ●365納米或395納米波長可選
? ●全自動化控制
對準模塊
? ●X, Y, Z, Theta平臺
? ●分場光學和CCD相機

基板裝載
?● 標配納米壓印系統可裝載4″基板
?● 6″和8″基板可選
?● 各種尺寸及不規則形狀模板及基
板均可壓印
? ●獨特保護ACP技術可大限度保護基板和模板，特別對于象 磷化銦（InP）等極易碎模板和 基板給予大限度保護。
光刻
?● 標配5”模板，標配4”直徑基板
?● 其他尺寸可以提供
?● 500瓦紫外水銀燈光源