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            納米壓印

            描述:納米壓印保護ACP技術可大限度保護模板和基板,特別對 于象磷化銦(InP)等極易碎模板和基板給予大限度。

            更新時間:2021-06-02
            產品型號:NX-B100/200
            廠商性質:經銷商
            詳情介紹

            NX-B100/B200整片基板納米壓印系統經過了大量的實時實地驗證,質量可靠,性能優越穩定。具備全部壓印模式:熱固化、紫外固化和壓印?;讵毺乇Wo的Nanonex氣墊軟壓技術(ACP),不論模版或基板背面粗糙程 度如何,或是模版或基板表面波浪和弧形結構,NX-B100/B200均可對其校 正補償從而獲得的壓印均勻性, ACP消除了基板與模版之間側向偏移,有效地延長了模版使用壽命。通過微小熱容設計可獲得快速的熱壓印周 期,終得到快速的工藝循環,適用于小于4英寸的晶圓片。

            所有形式的
            ? 熱塑化
            ? 紫外固化 (NX-B200)
            ? 熱壓與紫外壓印同時進行(NX-B200)
            ? 熱固化
            氣墊軟壓技術(ACP)
            ? Nanonex技術
            ? 完美的整片基板均勻性
            ? 高通量
            低于10nm分辨率
            快速工藝循環時間(小于60秒) 靈活性
            ? 大75毫米直徑壓印面積 ? 各種尺寸及不規則形狀模
            板與基板均可壓印
            方便用戶操作
            基于超過12年、15代產品開發 經驗的自動化壓印操作
            Nanonex壓印系統經過大量實 時實地驗證,質量可靠,性 能優越穩定
            全自動納米壓印

            技術參數

            熱塑壓印模塊(NX-B100/B200)
            ● 溫度范圍0~250℃
            ● 加熱速度>200℃/分鐘
            ● 制冷速度>60℃/分鐘
            ● 壓力范圍0 ~ 3.45 MPa(500 psi)
            紫外固化模塊(NX-B200)
            ● 58mW/cm2紫外LED光源
            ● 365納米或395納米波長可選
            ● 全自動化控制

            模版裝載功能
            ● 大3″模板可用于標配系統
            基板裝載
            ● 標配系統可裝載3″基板
            ● 各種尺寸及不規則形狀模板與基板均可壓印
            ● 獨特保護ACP技術可大限度保護模板和基板,特別對 于象磷化銦(InP)等極易碎模板和基板給予大限度。

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