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            手動等離子清洗刻蝕系統

            描述:手動等離子清洗刻蝕系統對于清潔,剝離和表面改性,等離子體是有毒化學物質的有效替代品,并且在表面上沒有殘留溶劑。

            更新時間:2021-06-02
            產品型號:YES–G1000
            廠商性質:經銷商
            詳情介紹

            YES–G1000手動等離子清洗刻蝕系統對于清潔,剝離和表面改性,等離子體是有毒化學物質的有效替代品,并且在表面上沒有殘留溶劑。 副產物是惰性的并且對環境安全。 G1000的工作頻率為13.56MHz,用戶可以從5種等離子模式中進行選擇。 各向異性模式包括RIE和有源離子阱; 各向同性模式包括下游(無電子),有源和下游離子阱。

            •13.56 MHz的射頻等離子體
            手動等離子清洗刻蝕系統低壓環境
            •下游侵蝕性等離子體
            •溫度監控器
            •3個氣體輸入
            •氣體輸入可包含更多深奧氣
            體,例如合成氣,CF4和SF6

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